用氦气作为氦质谱检漏气体的原因

选择示漏气体(示踪气体）的原则是：它在空气中及真空系统中的含量低；检漏仪对示漏气体的灵敏度高；它不会对人员、环境、被检件及检漏仪造成污染、伤害和安全隐患；价格低。

质谱检漏仪通常选择氦气作示踪气体，主要原因如下：

1、氦在空气中及真空系统残余气体中的含量极1少（在空气中约含5.2ppm），在材料出气中也很少，因此本底压力小，输出的本底电流也小。正因为本底小，由某些原因引起本底的波动，亦即本底噪声也就小，因此微小漏率也就能反应出来，灵敏度高。

2、氦的质量小（相对分子质量为4），易于穿过漏孔。这样，氦较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大，容易发现，灵敏度高。

3、氦是惰性气体，不与被检件器壁起化学反应，不会污染被检件，使用安全。

4、在氦两侧的是氢（质荷比为2）和双电荷原子碳（质荷比为6），质荷比都与氦相差较大。这样，它们在分析器中的偏转半径相差也大，容易分开，定标找氦峰时，不易受其他离子的干扰，因此就降低了对分析器制造精度的要求，易于加工。同时，分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大，使更多的氦离子通过，提高了仪器灵敏度。耐压测试要求：一般两器在执行氦检漏之前会充注一定压力（一般不超过3。

5、氦在被检件及真空系统中不易被吸附。这样检出一个漏孔可以使氦信号迅速消失以便继续进行检漏，提高了仪器的检漏效率。

6.氢气有些性能（如质量小、易通过漏孔）比氦还好，然而由于氢一方面有易1爆危险，另一方面在油扩散泵中，由于油受热裂解会产生大量的碳和氢，使氢本底极高且波动大，以致灵敏度大大降低，所以很少采用。

科仪专业生产氦气检漏仪，如果您想了解更多您可拨打图片上的电话进行咨询，科仪竭诚为您服务！

氦质谱检漏仪的特点

北京科仪真空技术有限公司（简称：科仪）出资成立，创建于2015年，注册资金500万。是国内新兴的一家专业从事真空领域的高新技术企业。

1.检测时间和周期非常短，可以达到5s以内；

2.检测的介质比较常用，仅需压缩空气即可；

3.不会受到主观因素判断的影响；

4.检测的数据精准；

5.自动生成数据保存，可追溯数据来源。

今天和大家分享的是真空箱氦检漏系统特征及优点，如果您想了解更多您可拨打图片上的电话进行咨询！

氦气检漏的基本功能（部分功能可选配）

1、对被检工件充注高压氮气或压缩空气进行耐压强度和大漏气密性检验；

2、对被检工件抽真空；

3、对被检工件充注氦气；

4、真空箱法氦质谱检测，自动判断工件漏率合格与不合格；

5、回收并循环使用氦气；

6、如果氦气浪费严重，可以将使用过程中浓度不合格的氦气进行提纯

7、PLC控制，触摸屏操作，自动检测。

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